對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

熔斷器長(zhǎng)期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時(shí)間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會(huì)發(fā)生（）的危險(xiǎn)。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有（）。

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在，一是競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，二是（），三是靈活性。