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在電子工業(yè)中,離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的(),也是控制MOSFET閾值電壓的一個(gè)重要手段。
答案:
摻雜技術(shù)
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金屬的離子注入改性目的在于提高金屬的()性能、()強(qiáng)度和()性能。
答案:
硬度、 耐腐蝕;抗疲勞;潤(rùn)滑
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電子束曝光抗蝕劑對(duì)離子的靈敏度要比對(duì)電子束(),因而可獲得更加精細(xì)的圖樣。
答案:
高100倍以上
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