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填空題大規(guī)模集成電路的微細制作方法有（），（），（），（），（）。

1.填空題虛擬制造技術是以（）、（）、（）為支持，在產品設計或制造系統(tǒng)的物理實現(xiàn)之前，就能使人體會或感受到未來產品的性能或者制造系統(tǒng)的狀態(tài)，從而可以作出前瞻性的決策與優(yōu)化實施方案。

2.填空題快速原型制造常用的工藝方法（），（），（），（）。

3.填空題超高速機床主軸的結構常采用交流伺服電動機內置式集成結構，這種主軸通常被稱為（）。

4.填空題綠色制造技術是指在保證產品的功能、（）、成本的前提下，綜合考慮環(huán)境影響和（）的現(xiàn)代制造模式。

5.填空題微細加工中的三束加工是指（），（），（）。