問答題擴(kuò)散摻雜與離子注入摻雜所形成的雜質(zhì)濃度分布各自的特點(diǎn)是什么?與擴(kuò)散摻雜相比離子注入摻雜的優(yōu)勢與缺點(diǎn)各是什么?

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