多項(xiàng)選擇題濕法蝕刻具有以下哪些缺點(diǎn)（）。
A.化學(xué)藥品處理時(shí)人員會(huì)遭遇的安全問題
B.反應(yīng)溶液及去離子水需花費(fèi)較高成本
C.光刻膠會(huì)產(chǎn)生附著性問題
D.蝕刻不均勻
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1.多項(xiàng)選擇題干法蝕刻通常指利用輝光放電方式，產(chǎn)生等離子體來進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)移的蝕刻技術(shù)。其中等離子體含有（）。
A.離子、電子
B.中性原子
C.分子
D.自由基
2.多項(xiàng)選擇題廣義而言，所謂的蝕刻技術(shù)可以分為（）。
A.干蝕刻
B.濕蝕刻
C.中性蝕刻
D.無側(cè)蝕蝕刻
3.多項(xiàng)選擇題在堿性氯化銅蝕刻中，造成蝕刻過度的原因可能有（）。
A.傳送速度太慢
B.pH值過高
C.蝕刻液比重偏低
D.蝕刻液溫度不足
4.多項(xiàng)選擇題在堿性氯化銅蝕刻中，造成蝕刻不足的原因可能有（）。
A.傳送速度太快
B.pH值太低
C.蝕刻液溫度不足
D.噴淋壓力不足
5.多項(xiàng)選擇題堿性蝕刻液再生方法有（）。
A.結(jié)晶法
B.萃取法
C.中和法
D.空氣再生法
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