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二元光學(xué)元件
答案:
用大規(guī)模的集成電路的光刻技術(shù)加工而成的二元化器件。
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二元掩膜
答案:
通過對掩膜片基上的感光膠片進行有控制的曝光和顯影獲得
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光刻
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圖形曝光和圖形蝕刻。
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