EnDpointDeteCtion 方法有（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

定期應(yīng)該對變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？