注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

光刻工藝的特點包括（）。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

摻雜后退火時間一般在（）。

CE定律發(fā)展面臨的問題包括（）。

互連工藝中AL的制備可選用（）。

厚膜電阻的成分，一是導(dǎo)體顆粒，二是（）。

芯片粘接的工藝過程包括（）。