多項選擇題用于微觀表面三維形貌測量的光探針尺寸決定于()
A.光衍射效應
B.光波波長
C.光干涉效應
D.光折射效應
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1.多項選擇題相移式光柵投影表面三維形狀測量技術的優(yōu)點()
A.實現(xiàn)了點對點求解初相位
B.需要進行相移
C.精度高
D.測量速度相對較慢
2.多項選擇題微觀表面三維形貌光學焦點測量技術的特點()
A.適合加工現(xiàn)場的使用
B.被測表面的反射率有要求
C.對表面傾斜很敏感
D.要求被測表面必須保持潔凈、無水和油質(zhì),以保證測量結果
3.多項選擇題微觀表面三維形貌測量技術包括()
A.原子力顯微鏡
B.光學焦點探測儀
C.掃描電子顯微鏡
D.探針輪廓儀
4.多項選擇題傅里葉變換光柵投影表面三維形狀測量技術的優(yōu)點()
A.可用于動態(tài)測量
B.速度快
C.測量精度相對較低
D.只需要一幀或兩幀條紋圖
5.單項選擇題基于光柵投影的光學表面三維形狀測量技術關鍵是()
A.測量條紋間距
B.測量條紋寬度
C.解調(diào)出被測表面上各點的相位
D.測量條紋對比度
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