填空題

ICP光柵光譜儀中采用的色散元件主要有（）、（）、（）3種類型。

答案：平面光柵；凹面光柵；中階梯光柵

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ICP發(fā)射光譜技術(shù)具有靈敏度高、精密度高、基體干擾少、線性范圍寬和可以（）同時分析的優(yōu)點。

答案：多元素

原子發(fā)射光譜分析過程中主要分三步，（）、（）和（）。

答案：激發(fā)；分光；檢測