問答題

答案：全閉環(huán)控制的特點是帶有直線光柵作為位置檢測元件，位置檢測系統(tǒng)直接檢測工作臺位移，并將產(chǎn)生的誤差反饋后進行補償，實現(xiàn)高精度...

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答案：

按控制方式可分為開環(huán)控制、半閉環(huán)控制和全閉環(huán)控制。

答案：

閉環(huán)系統(tǒng)是指系統(tǒng)的被調量和輸入端之間存在著反饋回路的系統(tǒng)。

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