應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

工業(yè)機(jī)器人對安裝環(huán)境的要求有（）。

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？