問答題
一個電容測微儀其傳感器的圓形極板半徑r=4mm,工作初始間隙δ=0.3mm,求:
1)工作時,如果傳感器與工件的間隙變化量Δδ=±1μm時,電容變化量是多少?
2)如果測量電路的靈敏度S1=100mV/pF,讀數(shù)儀表的靈敏度S2=5格/mV,在Δδ=±1μm時,讀數(shù)儀表的指示值變化多少格?
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