套簡(jiǎn)滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

（）又稱“島式加工單元”。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時(shí)，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動(dòng)指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實(shí)現(xiàn)。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。