使用氦氣檢漏的原因是（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

工業(yè)機(jī)器人對安裝環(huán)境的要求有（）。

定期應(yīng)該對變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實(shí)現(xiàn)。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？