問答題

【簡答題】描述溝道效應(yīng)。列舉并簡要解釋控制溝道效應(yīng)的三種機制。

答案： 當(dāng)注入離子未與硅原子碰撞減速，而是穿透了晶格間隙時，就發(fā)生了溝道效應(yīng)。
三種機制：
1.傾斜硅片：它...
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問答題

【簡答題】列舉離子注入設(shè)備的5個主要子系統(tǒng)。
答案：

1.離子源
2.引出電極和離子分析器
3.加速管
4.掃描系統(tǒng)
5.工藝室
問答題

【簡答題】離子注入的主要缺點是什么？如何克服？
答案： 1、高能雜質(zhì)離子轟擊硅原子將對晶體結(jié)構(gòu)產(chǎn)生損傷。（高溫退火進行修復(fù)）。
2、注入設(shè)備的復(fù)雜性。（被注入機對劑量...
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