判斷題采用激光偏振檢測(cè)系統(tǒng)可確定硅片表面疵病的性質(zhì),即區(qū)分疵病是劃痕、裂痕、麻點(diǎn)、灰塵、油污膜層或其他缺陷。

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1.單項(xiàng)選擇題關(guān)于壓電掃描器缺點(diǎn)敘述錯(cuò)誤的是()

A.電壓相對(duì)位置、位移無(wú)滯后
B.晶體膨脹期間不可預(yù)測(cè)的力矢量
C.居里溫度引起的溫度限制,低溫下壓電效應(yīng)的降低
D.柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)對(duì)環(huán)境噪聲的放大