單項選擇題SIO2、SIN干法刻蝕主要是通過哪種氣體進行刻蝕反應(yīng)？（）

A.含CL基氣體
B.含F(xiàn)基氣體
C.含C基氣體
D.O2


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1.單項選擇題SIO2干法刻蝕，刻蝕后CD的影響因素有（）。

A.刻蝕時間
B.聚合物的多少
C.光刻膠CD
D.以上都對

2.單項選擇題鋁后處理HNO3、CH3COOH、HF混合液的主要作用是（）。

A.去除聚合物
B.去除金屬離子
C.去除顆粒沾污
D.去除硅渣

3.單項選擇題如果SiO2濕法腐蝕想獲得更緩的臺階角度，以下方法可行的是（）。

A.升高烘烤溫度
B.降低烘烤溫度
C.改干+濕工藝
D.使用粘附性好的光刻膠

4.單項選擇題BOE腐蝕液是指氫氟酸和以下哪個酸液的混合液？（）

A.硫酸
B.氨水
C.氟化銨
D.雙氧水

5.單項選擇題濕法去膠用到的化學(xué)品是硫酸和（）。

A.氫氟酸
B.雙氧水
C.鹽酸
D.磷酸

6.單項選擇題刻蝕具有各向同性，各向異性的特點，以下說法正確的是（）。

A.橫向、縱向刻蝕速率一致時，是各向同性刻蝕
B.刻蝕在一個方向上發(fā)生，是各向同性刻蝕
C.濕法腐蝕絕大部分都是各向異性刻蝕
D.干法刻蝕絕大部分都是各向同性刻蝕

7.單項選擇題浮動鉸孔、無心磨削外圓等加工時定位基準(zhǔn)選擇遵循（）。

A.基準(zhǔn)重合原則
B.基準(zhǔn)統(tǒng)一原則
C.互為基準(zhǔn)原則
D.自為基準(zhǔn)原則

8.單項選擇題使用鏜模時，鏜刀桿與主軸常采用（）。

A.套筒連接
B.錐面連接
C.萬向接頭連接
D.螺紋連接