下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

步進電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉速失控或停轉。

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

UTM300B 泵的特點是什么（）？

RF 電源適用的設備是（）。

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術的一次革命性創(chuàng)新，成為國內外IT 業(yè)界和社會關注的焦點之一。它可以分為標識、感知、處理、信息傳送四個環(huán)節(jié)。其中“感知”對應的關鍵技術為（）。

磁性開關氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關，磁性開關用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

定期應該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。