填空題

擴(kuò)散分布的主要測(cè)量方法有:()。

答案: 四探針測(cè)電阻率、擴(kuò)展電阻測(cè)載流子分布、霍爾效應(yīng)測(cè)電阻率、染色法測(cè)結(jié)深、二次離子質(zhì)譜測(cè)雜質(zhì)分布、盧瑟福背散射測(cè)重雜質(zhì)分布
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