多項選擇題影響等離子體蝕刻特性好壞的因素包括以下幾個方面（）。

A.等離子體蝕刻系統(tǒng)的形態(tài)
B.等離子體蝕刻的參數(shù)
C.光刻膠
D.待蝕刻薄膜的淀積參數(shù)條件


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1.多項選擇題濕法蝕刻具有以下哪些缺點（）。

A.化學藥品處理時人員會遭遇的安全問題
B.反應溶液及去離子水需花費較高成本
C.光刻膠會產(chǎn)生附著性問題
D.蝕刻不均勻

3.多項選擇題廣義而言，所謂的蝕刻技術可以分為（）。

A.干蝕刻
B.濕蝕刻
C.中性蝕刻
D.無側(cè)蝕蝕刻

4.多項選擇題在堿性氯化銅蝕刻中，造成蝕刻過度的原因可能有（）。

A.傳送速度太慢
B.pH值過高
C.蝕刻液比重偏低
D.蝕刻液溫度不足

5.多項選擇題在堿性氯化銅蝕刻中，造成蝕刻不足的原因可能有（）。

A.傳送速度太快
B.pH值太低
C.蝕刻液溫度不足
D.噴淋壓力不足