名詞解釋

答案：基于波面衍射原理，利用計算機(jī)輔助設(shè)計和超大規(guī)模集成（VLSI）電路制作工藝，在基于刻蝕產(chǎn)生兩個或多個臺階深度的浮點(diǎn)結(jié)構(gòu)，...

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答案：

用大規(guī)模的集成電路的光刻技術(shù)加工而成的二元化器件。

答案：

通過對掩膜片基上的感光膠片進(jìn)行有控制的曝光和顯影獲得