下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

磁性開關氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關，磁性開關用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

工業(yè)機器人在裝配行業(yè)應用的優(yōu)勢主要體現在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

UTM-A 系列泵，可調節(jié)轉速后會有哪些好處（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？