多項(xiàng)選擇題ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

A.12.5Mhz
B.30Mhz
C.13.56Mhz
D.27.12Mhz


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1.多項(xiàng)選擇題檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

A.靈敏度校正
B.檢漏儀性能確認(rèn)
C.壓力確認(rèn)
D.漏率檢測

2.多項(xiàng)選擇題RF 電源適用的設(shè)備是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning

3.多項(xiàng)選擇題RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢

4.多項(xiàng)選擇題下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源

5.多項(xiàng)選擇題下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列