多項選擇題離子濺射泵的特點是什么()?

A.無機械運動部分
B.無振動
C.無需再生
D.無噪音


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1.多項選擇題屬于高真空泵的是哪一種()?

A.分子泵
B.擴散泵
C.油回轉(zhuǎn)泵
D.低溫泵

2.多項選擇題油擴散泵的缺點是什么()?

A.噪音大
B.需要水冷擋板
C.啟動停止需要時間
D.存在油污染

3.多項選擇題檢漏儀靈敏度下降的原因有()。

A.離子源老化
B.分析部污染
C.內(nèi)漏
D.設(shè)定參數(shù)不對

4.多項選擇題UTM300B 泵吸氣口可提供的法蘭規(guī)格有哪些()?

A.VG100
B.ICF152
C.ISO100-K
D.ICF203

5.多項選擇題UTM300B 采用哪種冷卻方式()?

A.水冷
B.自然空冷
C.強制空冷