問(wèn)答題工業(yè)機(jī)器人常用的驅(qū)動(dòng)器有哪些類型，并簡(jiǎn)要說(shuō)明其特點(diǎn)。
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UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？
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應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。
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離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？
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RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？
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步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。
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檢漏儀分析管的離子源作用有（）。
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下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。
題型：多項(xiàng)選擇題
油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？
題型：多項(xiàng)選擇題
對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。
題型：多項(xiàng)選擇題
（）又稱“島式加工單元”。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題