氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

（）又稱“島式加工單元”。

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國內(nèi)外IT 業(yè)界和社會關(guān)注的焦點之一。它可以分為標識、感知、處理、信息傳送四個環(huán)節(jié)。其中“感知”對應的關(guān)鍵技術(shù)為（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

工業(yè)機器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。

離子濺射泵的特點是什么（）？

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。