RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

使用氦氣檢漏的原因是（）。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在，一是競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，二是（），三是靈活性。

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見(jiàn)故障有（）。

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？