問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是阻擋層金肩？阻擋層材料的基本特性是什么？哪種金屬常被用做阻擋層金屬？

答案：阻擋金屬層是淀積金屬或金屬塞，用以阻止上下的材料互相混合。
特性：
1.有很好的阻擋擴(kuò)散特性，結(jié)果分...

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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】列出并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點(diǎn)。

答案：

1.電阻率的減小。
2.減小了功耗。
3.更高的集成密度。
4.良好的抗電遷徙性能。
5.更少的工藝步驟。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】描述溝道效應(yīng)。列舉并簡(jiǎn)要解釋控制溝道效應(yīng)的三種機(jī)制。

答案：當(dāng)注入離子未與硅原子碰撞減速，而是穿透了晶格間隙時(shí)，就發(fā)生了溝道效應(yīng)。
三種機(jī)制：
1.傾斜硅片：它...