判斷題當(dāng)SIO2膜質(zhì)摻硼時(shí)，在BOE中速率會(huì)變快，摻磷時(shí)，在BOE中速率會(huì)變慢。

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2.單項(xiàng)選擇題下面的標(biāo)準(zhǔn)工序段中，正確的是（）。

A.CO-ET：刻蝕烘烤-打膠-CO干刻-刻蝕測膜厚-濕法腐蝕-濕法去膠-刻蝕后檢
B.LA-ET：刻蝕烘烤-打膠-鋁濕刻-鋁干刻-干法去膠-刻蝕后檢
C.PA-ET：刻蝕烘烤-干刻壓點(diǎn)-刻蝕測膜厚-干法去膠-刻蝕后檢
D.濕法腐蝕：刻蝕烘烤-打膠-濕法腐蝕-刻蝕測膜厚-濕法去膠-刻蝕后檢

3.單項(xiàng)選擇題干法刻蝕前有的工序段會(huì)有烘烤，它的作用主要是（）。

A.防止侵蝕
B.防止未蝕凈
C.讓臺(tái)階角度更陡
D.防止皺膠

4.單項(xiàng)選擇題SIO2、SIN干法刻蝕主要是通過哪種氣體進(jìn)行刻蝕反應(yīng)？（）

A.含CL基氣體
B.含F(xiàn)基氣體
C.含C基氣體
D.O2

5.單項(xiàng)選擇題SIO2干法刻蝕，刻蝕后CD的影響因素有（）。

A.刻蝕時(shí)間
B.聚合物的多少
C.光刻膠CD
D.以上都對

6.單項(xiàng)選擇題鋁后處理HNO3、CH3COOH、HF混合液的主要作用是（）。

A.去除聚合物
B.去除金屬離子
C.去除顆粒沾污
D.去除硅渣

7.單項(xiàng)選擇題如果SiO2濕法腐蝕想獲得更緩的臺(tái)階角度，以下方法可行的是（）。

A.升高烘烤溫度
B.降低烘烤溫度
C.改干+濕工藝
D.使用粘附性好的光刻膠

8.單項(xiàng)選擇題BOE腐蝕液是指氫氟酸和以下哪個(gè)酸液的混合液？（）

A.硫酸
B.氨水
C.氟化銨
D.雙氧水

9.單項(xiàng)選擇題濕法去膠用到的化學(xué)品是硫酸和（）。

A.氫氟酸
B.雙氧水
C.鹽酸
D.磷酸

10.單項(xiàng)選擇題刻蝕具有各向同性，各向異性的特點(diǎn)，以下說法正確的是（）。

A.橫向、縱向刻蝕速率一致時(shí)，是各向同性刻蝕
B.刻蝕在一個(gè)方向上發(fā)生，是各向同性刻蝕
C.濕法腐蝕絕大部分都是各向異性刻蝕
D.干法刻蝕絕大部分都是各向同性刻蝕