使用氦氣檢漏的原因是（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

工業(yè)機器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

（）又稱“島式加工單元”。

弧焊機器人的焊接設(shè)備主要是由（）組成。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？