UTM-A 系列泵，可調節(jié)轉速后會有哪些好處（）？

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

工業(yè)機器人更新轉數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。