伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

（）又稱“島式加工單元”。

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？