因為Cu的互連線電阻率低,介質(zhì)層介電常數(shù)小。 多層互連對VLSI的意義:1提高集成度;2降低互連延遲3降低成本
最新試題
厚膜電阻的成分,一是導(dǎo)體顆粒,二是()。
摻雜后退火時間一般在()。
常壓的硅外延方法有()。
多層陶瓷基板多層化的方法包括()。
IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是()。
摻雜后,退火的目的是()。
金屬化中可選用的金屬材料有()。
三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。
目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種?()
濕氧氧化采用的氧化水溫是()。