注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關？（）

新的平坦化方法有哪幾個？（）

刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

目前制備SOI材料的主流技術有幾種？（）

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。

下面哪道工序主要是針對晶圓切割之后在顯微鏡下進行晶圓r的外觀檢查，是否有出現(xiàn)廢品？（）