多項選擇題在酸性氯化銅蝕刻液體系的再生方法中，由于氯氣是強氧化劑，直接通氯氣是再生的最好方法。是因為（）。

A.成本低
B.再生速率快
C.無污染
D.設(shè)備簡單


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1.多項選擇題在酸性氯化銅蝕刻過程出現(xiàn)抗蝕劑破壞的原因可能有（）。

A.溶液溫度過高
B.溶液被污染
C.顯影有余膠
D.傳遞速度過快

2.多項選擇題影響等離子體蝕刻特性好壞的因素包括以下幾個方面（）。

A.等離子體蝕刻系統(tǒng)的形態(tài)
B.等離子體蝕刻的參數(shù)
C.光刻膠
D.待蝕刻薄膜的淀積參數(shù)條件

3.多項選擇題濕法蝕刻具有以下哪些缺點（）。

A.化學(xué)藥品處理時人員會遭遇的安全問題
B.反應(yīng)溶液及去離子水需花費較高成本
C.光刻膠會產(chǎn)生附著性問題
D.蝕刻不均勻

5.多項選擇題廣義而言，所謂的蝕刻技術(shù)可以分為（）。

A.干蝕刻
B.濕蝕刻
C.中性蝕刻
D.無側(cè)蝕蝕刻