雙光干涉法、比色法
數(shù)字集成電路，模擬集成電路，數(shù)?；旌霞呻娐?。
替代式雜質(zhì)、間隙式雜質(zhì)
抗蝕劑中的小窗口會由于毛細作用而使得接觸孔不能被有效浸潤、被分解的材料不能被有效從反應(yīng)區(qū)中清除。
