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微電子學(xué)名詞解釋每日一練(2020.04.13)

來源：考試資料網(wǎng)

1.名詞解釋離軸照明

參考答案：通過使用光圈將入射光以一定角度入射到光學(xué)系統(tǒng)的透鏡上，收集光刻板上光柵的一級衍射，提高分辨率。

2.名詞解釋水汽氧氧化

參考答案：氧化（氧氣）中攜帶一定量的水氣，氧化特性介于干氧與濕氧之間。

3.名詞解釋PSM移相掩膜

參考答案：相移掩膜上的電介質(zhì)層在光刻版上開口部分以間隔的方式形成相移圖形，通過沒有相移涂敷開口部分的光線，會與通過有相移涂敷開口的...

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4.名詞解釋Die芯片裸片

參考答案：以硅工藝為例，一般把整片的硅片叫做wafer，通過工藝流程后每一個單元會被劃片，封裝。在封裝前的單個單元的裸片叫做die...

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5.名詞解釋合金化熱處理

參考答案：利用熱能使不同原子彼此結(jié)合成化學(xué)鍵而形成金屬合金的一種加熱工藝。