判斷題濕法去膠(3#液)會腐蝕少量的SIN。

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8.單項選擇題下面的標(biāo)準(zhǔn)工序段中,正確的是()。

A.CO-ET:刻蝕烘烤-打膠-CO干刻-刻蝕測膜厚-濕法腐蝕-濕法去膠-刻蝕后檢
B.LA-ET:刻蝕烘烤-打膠-鋁濕刻-鋁干刻-干法去膠-刻蝕后檢
C.PA-ET:刻蝕烘烤-干刻壓點-刻蝕測膜厚-干法去膠-刻蝕后檢
D.濕法腐蝕:刻蝕烘烤-打膠-濕法腐蝕-刻蝕測膜厚-濕法去膠-刻蝕后檢

9.單項選擇題干法刻蝕前有的工序段會有烘烤,它的作用主要是()。

A.防止侵蝕
B.防止未蝕凈
C.讓臺階角度更陡
D.防止皺膠

10.單項選擇題SIO2、SIN干法刻蝕主要是通過哪種氣體進(jìn)行刻蝕反應(yīng)?()

A.含CL基氣體
B.含F(xiàn)基氣體
C.含C基氣體
D.O2