光刻工藝的特點包括（）。

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）

光刻工藝的設(shè)備核心是（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

進(jìn)行光刻工藝前的清洗步驟是（）。

互連工藝中AL的制備可選用（）。