判斷題SIO2層如果在注入后不做退火,濕法腐蝕速率會變慢。
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1.判斷題濕法去膠(3#液)會腐蝕少量的SIN。
8.單項選擇題以下哪種材質(zhì),純濕法刻蝕后,不需要使用帶鋁后處理的工序段?()
A.純AL
B.AL-SI
C.AL-SI-CU
D.AL-SI+AL-SI-CU
9.單項選擇題下面的標(biāo)準(zhǔn)工序段中,正確的是()。
A.CO-ET:刻蝕烘烤-打膠-CO干刻-刻蝕測膜厚-濕法腐蝕-濕法去膠-刻蝕后檢
B.LA-ET:刻蝕烘烤-打膠-鋁濕刻-鋁干刻-干法去膠-刻蝕后檢
C.PA-ET:刻蝕烘烤-干刻壓點-刻蝕測膜厚-干法去膠-刻蝕后檢
D.濕法腐蝕:刻蝕烘烤-打膠-濕法腐蝕-刻蝕測膜厚-濕法去膠-刻蝕后檢
10.單項選擇題干法刻蝕前有的工序段會有烘烤,它的作用主要是()。
A.防止侵蝕
B.防止未蝕凈
C.讓臺階角度更陡
D.防止皺膠
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