判斷題SIO2層如果在注入后不做退火,濕法腐蝕速率會變慢。

您可能感興趣的試卷

你可能感興趣的試題

9.單項選擇題下面的標(biāo)準(zhǔn)工序段中,正確的是()。

A.CO-ET:刻蝕烘烤-打膠-CO干刻-刻蝕測膜厚-濕法腐蝕-濕法去膠-刻蝕后檢
B.LA-ET:刻蝕烘烤-打膠-鋁濕刻-鋁干刻-干法去膠-刻蝕后檢
C.PA-ET:刻蝕烘烤-干刻壓點-刻蝕測膜厚-干法去膠-刻蝕后檢
D.濕法腐蝕:刻蝕烘烤-打膠-濕法腐蝕-刻蝕測膜厚-濕法去膠-刻蝕后檢

10.單項選擇題干法刻蝕前有的工序段會有烘烤,它的作用主要是()。

A.防止侵蝕
B.防止未蝕凈
C.讓臺階角度更陡
D.防止皺膠