單項(xiàng)選擇題UT光刻機(jī)對(duì)位標(biāo)記信號(hào)的探測(cè)是通過對(duì)位光線經(jīng)掩模板照射到標(biāo)記臺(tái)階上,在臺(tái)階邊緣的()線進(jìn)入信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)內(nèi)。

A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光


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