單項(xiàng)選擇題HMDS的作用是使表面(),增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。

A.疏水
B.親水


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1.單項(xiàng)選擇題一廠PE和MPA的對套OVERLAY能力為()。

A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um