多項(xiàng)選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟？（）
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
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1.單項(xiàng)選擇題HMDS的作用是使表面（），增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
2.單項(xiàng)選擇題一廠PE和MPA的對(duì)套OVERLAY能力為（）。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
3.單項(xiàng)選擇題常壓與減壓外延（）使用同套光刻版，外延與非外延流程（）采用同一套光刻版，后續(xù)光刻層次對(duì)位文件標(biāo)記無(wú)法同時(shí)編兩個(gè)對(duì)位標(biāo)記。（）
A.不能，能
B.不能，不能
C.能，不能
D.能，能
4.單項(xiàng)選擇題UT光刻機(jī)對(duì)位標(biāo)記信號(hào)的探測(cè)是通過(guò)對(duì)位光線經(jīng)掩模板照射到標(biāo)記臺(tái)階上，在臺(tái)階邊緣的（）線進(jìn)入信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)內(nèi)。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
最新試題
深孔滾壓是利用金屬在常溫狀態(tài)時(shí)的（）特點(diǎn)進(jìn)行的一種壓力光整加工。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
增材制造又稱(chēng)（）。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
旋風(fēng)切削螺紋時(shí)，（）運(yùn)動(dòng)為主切削運(yùn)動(dòng)。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
距離精度是指相關(guān)零件間的距離尺寸精度，如（）
題型：多項(xiàng)選擇題
在如今的技術(shù)條件下，超精密加工所能達(dá)到的是（）。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
（）裝配法適用于封閉環(huán)公差要求較嚴(yán)格且組成環(huán)又較多的裝配尺寸鏈，在汽車(chē)、拖拉機(jī)、自行車(chē)等產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
一般產(chǎn)品的裝配精度指標(biāo)就是增環(huán)。
題型：判斷題
車(chē)梯形螺紋的切削方法有（）。
題型：多項(xiàng)選擇題
套類(lèi)零件的毛坯類(lèi)型與（）無(wú)關(guān)。
題型：多項(xiàng)選擇題
小頭孔首道工序?yàn)椋ǎ┘庸ぁ?/p>
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題