多項(xiàng)選擇題對準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)（）。
A.對準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
您可能感興趣的試卷
你可能感興趣的試題
1.多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有（）。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
2.多項(xiàng)選擇題對光刻膠的需求包括（）。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
3.多項(xiàng)選擇題光刻膠通常有三種成分：（）。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
4.多項(xiàng)選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟？（）
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
5.單項(xiàng)選擇題HMDS的作用是使表面（），增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
6.單項(xiàng)選擇題一廠PE和MPA的對套OVERLAY能力為（）。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
7.單項(xiàng)選擇題常壓與減壓外延（）使用同套光刻版，外延與非外延流程（）采用同一套光刻版，后續(xù)光刻層次對位文件標(biāo)記無法同時(shí)編兩個對位標(biāo)記。（）
A.不能，能
B.不能，不能
C.能，不能
D.能，能
8.單項(xiàng)選擇題UT光刻機(jī)對位標(biāo)記信號的探測是通過對位光線經(jīng)掩模板照射到標(biāo)記臺階上，在臺階邊緣的（）線進(jìn)入信號探測系統(tǒng)內(nèi)。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
最新試題
珩磨大頭孔、精鏜小頭孔屬于（）階段。
題型：單項(xiàng)選擇題
絲杠精加工時(shí)，以（）為定位基準(zhǔn)。
題型：單項(xiàng)選擇題
在臥式車床床頭箱的部件裝配中，應(yīng)選擇（）作為基準(zhǔn)件。
題型：單項(xiàng)選擇題
距離精度是指相關(guān)零件間的距離尺寸精度，如（）
題型：多項(xiàng)選擇題
連桿加工中尺寸精度要求最高的部位是（）。
題型：單項(xiàng)選擇題
深孔鉆削在成批生產(chǎn)時(shí)，常采用深孔鉆頭在（）上進(jìn)行鉆削。
題型：單項(xiàng)選擇題
床鞍移動相對主軸軸線的平行度屬于（）
題型：單項(xiàng)選擇題
旋風(fēng)切削螺紋時(shí)，（）運(yùn)動為主切削運(yùn)動。
題型：單項(xiàng)選擇題
曲軸的主軸頸和連桿軸頸的軸線（）。
題型：單項(xiàng)選擇題
活塞外圓中心線與缸體孔中心線的同軸度屬于（）
題型：單項(xiàng)選擇題