多項選擇題對光刻膠的需求包括（）。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
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1.多項選擇題光刻膠通常有三種成分：（）。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
2.多項選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟？（）
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
3.單項選擇題HMDS的作用是使表面（），增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
4.單項選擇題一廠PE和MPA的對套OVERLAY能力為（）。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
5.單項選擇題常壓與減壓外延（）使用同套光刻版，外延與非外延流程（）采用同一套光刻版，后續(xù)光刻層次對位文件標(biāo)記無法同時編兩個對位標(biāo)記。（）
A.不能，能
B.不能，不能
C.能，不能
D.能，能
6.單項選擇題UT光刻機對位標(biāo)記信號的探測是通過對位光線經(jīng)掩模板照射到標(biāo)記臺階上，在臺階邊緣的（）線進入信號探測系統(tǒng)內(nèi)。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
10.判斷題濕法去膠（3#液）會腐蝕少量的SIN。
最新試題
在如今的技術(shù)條件下，超精密加工所能達到的是（）。
題型：單項選擇題
套類零件的毛坯類型與（）無關(guān)。
題型：多項選擇題
在臥式車床床頭箱的部件裝配中，應(yīng)選擇（）作為基準(zhǔn)件。
題型：單項選擇題
超精密磨削的關(guān)鍵在于砂輪的選擇、（）和高精度的磨削機床。
題型：多項選擇題
對材料為45鋼的普通絲杠，毛坯的熱處理采用（）處理。
題型：單項選擇題
齒面滲碳淬火熱處理，其滲碳層厚度與（）無關(guān)。
題型：多項選擇題
毛坯熱處理的目的是消除鍛造或軋制時毛坯中產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力，細化晶粒，改善（）性能。
題型：單項選擇題
床鞍移動相對主軸軸線的平行度屬于（）
題型：單項選擇題
小頭孔首道工序為（）加工。
題型：單項選擇題
在大、小頭孔的加工中，（）不是保證精度的主要方法。
題型：多項選擇題