多項選擇題光刻膠通常有三種成分：（）。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
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1.多項選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟？（）
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
2.單項選擇題HMDS的作用是使表面（），增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
3.單項選擇題一廠PE和MPA的對套OVERLAY能力為（）。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
4.單項選擇題常壓與減壓外延（）使用同套光刻版，外延與非外延流程（）采用同一套光刻版，后續(xù)光刻層次對位文件標(biāo)記無法同時編兩個對位標(biāo)記。（）
A.不能，能
B.不能，不能
C.能，不能
D.能，能
5.單項選擇題UT光刻機對位標(biāo)記信號的探測是通過對位光線經(jīng)掩模板照射到標(biāo)記臺階上，在臺階邊緣的（）線進入信號探測系統(tǒng)內(nèi)。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
9.判斷題濕法去膠（3#液）會腐蝕少量的SIN。
最新試題
超精密磨削砂輪的修整通常包括（）
題型：多項選擇題
絲杠精加工時，以（）為定位基準(zhǔn)。
題型：單項選擇題
一般產(chǎn)品的裝配精度指標(biāo)就是增環(huán)。
題型：判斷題
超精密加工機床的精度質(zhì)量主要取決于機床的（）等部件。
題型：單項選擇題
對材料為45鋼的普通絲杠，毛坯的熱處理采用（）處理。
題型：單項選擇題
連桿加工中的關(guān)鍵工序是（）的加工。
題型：單項選擇題
在臥式車床床頭箱的部件裝配中，應(yīng)選擇（）作為基準(zhǔn)件。
題型：單項選擇題
工藝尺寸鏈具有封閉性和關(guān)聯(lián)性，裝配尺寸鏈只有封閉性，沒有關(guān)聯(lián)性。
題型：判斷題
深孔鉆削在成批生產(chǎn)時，常采用深孔鉆頭在（）上進行鉆削。
題型：單項選擇題
在如今的技術(shù)條件下，超精密加工所能達到的是（）。
題型：單項選擇題