多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有（）。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
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1.多項(xiàng)選擇題對光刻膠的需求包括（）。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
2.多項(xiàng)選擇題光刻膠通常有三種成分：（）。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
3.多項(xiàng)選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟？（）
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
4.單項(xiàng)選擇題HMDS的作用是使表面（），增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
5.單項(xiàng)選擇題一廠PE和MPA的對套OVERLAY能力為（）。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
6.單項(xiàng)選擇題常壓與減壓外延（）使用同套光刻版，外延與非外延流程（）采用同一套光刻版，后續(xù)光刻層次對位文件標(biāo)記無法同時(shí)編兩個(gè)對位標(biāo)記。（）
A.不能，能
B.不能，不能
C.能，不能
D.能，能
7.單項(xiàng)選擇題UT光刻機(jī)對位標(biāo)記信號的探測是通過對位光線經(jīng)掩模板照射到標(biāo)記臺階上，在臺階邊緣的（）線進(jìn)入信號探測系統(tǒng)內(nèi)。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
最新試題
套類零件的毛坯類型與（）無關(guān)。
題型：多項(xiàng)選擇題
連桿加工中的關(guān)鍵工序是（）的加工。
題型：單項(xiàng)選擇題
增材制造又稱（）。
題型：單項(xiàng)選擇題
連桿加工中尺寸精度要求最高的部位是（）。
題型：單項(xiàng)選擇題
連桿的（）是連桿加工過程中最主要的定位基準(zhǔn)面。
題型：單項(xiàng)選擇題
（）裝配法適用于封閉環(huán)公差要求較嚴(yán)格且組成環(huán)又較多的裝配尺寸鏈，在汽車、拖拉機(jī)、自行車等產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用。
題型：單項(xiàng)選擇題
距離精度是指相關(guān)零件間的距離尺寸精度，如（）
題型：多項(xiàng)選擇題
一般產(chǎn)品的裝配精度指標(biāo)就是增環(huán)。
題型：判斷題
車梯形螺紋的切削方法有（）。
題型：多項(xiàng)選擇題
活塞外圓中心線與缸體孔中心線的同軸度屬于（）
題型：單項(xiàng)選擇題