判斷題影響顯影效果的主要因素包括:曝光時(shí)間、前烘溫度和時(shí)間、光刻膠厚度、顯影液濃度、顯影液溫度、顯影的攪動(dòng)情況和顯影的噴頭等。

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7.多項(xiàng)選擇題對(duì)準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)()。

A.對(duì)準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深

8.多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有()。

A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源

9.多項(xiàng)選擇題對(duì)光刻膠的需求包括()。

A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差

10.多項(xiàng)選擇題光刻膠通常有三種成分:()。

A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料