判斷題影響顯影效果的主要因素包括:曝光時(shí)間、前烘溫度和時(shí)間、光刻膠厚度、顯影液濃度、顯影液溫度、顯影的攪動(dòng)情況和顯影的噴頭等。
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6.多項(xiàng)選擇題NIKON硅片對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)對(duì)對(duì)準(zhǔn)精度的影響較大,有三種對(duì)位方式()。
A.WGA
B.EGA
C.LSA
D.FIA
7.多項(xiàng)選擇題對(duì)準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)()。
A.對(duì)準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
8.多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有()。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
9.多項(xiàng)選擇題對(duì)光刻膠的需求包括()。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
10.多項(xiàng)選擇題光刻膠通常有三種成分:()。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
最新試題
距離精度是指相關(guān)零件間的距離尺寸精度,如()
題型:多項(xiàng)選擇題
小頭孔首道工序?yàn)椋ǎ┘庸ぁ?/p>
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
在如今的技術(shù)條件下,超精密加工所能達(dá)到的是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
深孔滾壓是利用金屬在常溫狀態(tài)時(shí)的()特點(diǎn)進(jìn)行的一種壓力光整加工。
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車梯形螺紋的切削方法有()。
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連桿加工中尺寸精度要求最高的部位是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
珩磨大頭孔、精鏜小頭孔屬于()階段。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
齒面滲碳淬火熱處理,其滲碳層厚度與()無關(guān)。
題型:多項(xiàng)選擇題
()裝配法適用于封閉環(huán)公差要求較嚴(yán)格且組成環(huán)又較多的裝配尺寸鏈,在汽車、拖拉機(jī)、自行車等產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
裝配尺寸鏈具有()的特性。
題型:多項(xiàng)選擇題