多項(xiàng)選擇題NIKON硅片對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)對(duì)對(duì)準(zhǔn)精度的影響較大，有三種對(duì)位方式（）。
A.WGA
B.EGA
C.LSA
D.FIA
您可能感興趣的試卷
你可能感興趣的試題
1.多項(xiàng)選擇題對(duì)準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)（）。
A.對(duì)準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
2.多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有（）。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
3.多項(xiàng)選擇題對(duì)光刻膠的需求包括（）。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
4.多項(xiàng)選擇題光刻膠通常有三種成分：（）。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
5.多項(xiàng)選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟？（）
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
6.單項(xiàng)選擇題HMDS的作用是使表面（），增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
7.單項(xiàng)選擇題一廠PE和MPA的對(duì)套OVERLAY能力為（）。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
8.單項(xiàng)選擇題常壓與減壓外延（）使用同套光刻版，外延與非外延流程（）采用同一套光刻版，后續(xù)光刻層次對(duì)位文件標(biāo)記無法同時(shí)編兩個(gè)對(duì)位標(biāo)記。（）
A.不能，能
B.不能，不能
C.能，不能
D.能，能
9.單項(xiàng)選擇題UT光刻機(jī)對(duì)位標(biāo)記信號(hào)的探測(cè)是通過對(duì)位光線經(jīng)掩模板照射到標(biāo)記臺(tái)階上，在臺(tái)階邊緣的（）線進(jìn)入信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)內(nèi)。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
最新試題
加工不淬硬絲杠螺紋的主要方法是（）。
題型：單項(xiàng)選擇題
曲軸的主軸頸和連桿軸頸的軸線（）。
題型：單項(xiàng)選擇題
精密主軸部件是超精密加工機(jī)床的（）基準(zhǔn)，也是保證機(jī)床加工精度的核心。
題型：單項(xiàng)選擇題
在大、小頭孔的加工中，（）不是保證精度的主要方法。
題型：多項(xiàng)選擇題
超精密加工機(jī)床的精度質(zhì)量主要取決于機(jī)床的（）等部件。
題型：單項(xiàng)選擇題
在臥式車床床頭箱的部件裝配中，應(yīng)選擇（）作為基準(zhǔn)件。
題型：單項(xiàng)選擇題
軸類零件在精加工時(shí)，一般不會(huì)選擇（）為定位基準(zhǔn)。
題型：多項(xiàng)選擇題
連桿加工中的關(guān)鍵工序是（）的加工。
題型：單項(xiàng)選擇題
選擇套類零件毛坯時(shí)，不應(yīng)考慮（）。
題型：多項(xiàng)選擇題
連桿的（）是連桿加工過程中最主要的定位基準(zhǔn)面。
題型：單項(xiàng)選擇題